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              新聞中心

              多晶硅尾氣回收:氣體分離技術

              空氣凈化技術:多晶硅尾氣回收各主要成分的體積分數分別為,HCl 30%;H2 64.2%;SIHCl3 5.4%;其他0.2%。多晶硅尾氣均為可回收的產品或可循環使用的原料。對尾氣進行有效的治理,不僅可以提高原料的利用率,還可以降低三廢的排放量。為了合理治理尾氣,必須根據尾氣的特性、成分、壓力等,選擇適當的工藝流程和技術條件。

              多晶硅尾氣回收

              利用以上幾種組份的沸點差異、溶解度差異和在吸附劑上附著能力的差異,可以將以上幾種組份完全分開。以下兩種工藝技術處理多晶硅尾氣:

              1、冷凝吸附法

              多晶硅尾氣進入冷凝分離系統,增壓后的合成氣被降溫,氯硅烷和氯化氫被分離出來,然后通過精餾將氯化氫和氫氣分離,氫氣進入吸附精制系統,得到高純度的精制氫氣。

              冷凝分離系統由制冷壓縮機組、精餾塔和泵組成,吸附精制系統由吸附塔、加熱器和冷卻器組成。

              2、變壓吸附法

              變壓吸附系統由吸附塔、換熱器和緩沖罐和組成。任意時刻都有吸附塔處于吸附狀態,其余處于再生狀態。通過氫氣、氯化氫、氯硅烷在吸附劑表面上吸附能力的差異,將氫氣、三氯氫硅、氯化氫分離開。吸附劑通過升溫和降壓的方式得到再生。再生結束,吸附塔又重新具備處理三氯氫硅尾氣并生產氫氣的能力。

              經過這一系列過程后吸附塔便完成了一個完整的“吸附-再生”循環,又為下一次吸附做好了準備。各吸附塔交替進行吸附、再生,即可實現氣體的連續分離與提純。

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