變壓吸附制氧的基本原理是利用空氣中的氮氣和氧氣因壓力不同而在吸附劑上吸附性能的差異，選擇性地吸附氧氣和氮氣，吸附氮氣和其他雜質，制取氧氣。根據吸附和分離的吸附和解吸壓力不同，常溫變壓吸附分離制氧過程通?？煞譃槿齻€不同的過程。

1、常壓解吸變壓吸附制氧（PSA-O2）：

類似于空氣變壓吸附分離制氮的過程，一定壓力（0.3 MPa ~0.55MPa）的壓縮空氣通過空氣預處理系統，除去油、粉塵和大部分蒸汽水分，然后潔凈空氣進入PSA-O2系統吸附塔，在此吸附潔凈空氣中大部分氮氣、二氧化碳和殘留水分，而氧氣被分離。當吸附塔中吸附的雜質組分達到設定的控制值時，吸附塔的制氧吸附劑通過常壓脫附進行再生。在DCS系統的控制下，由兩個塔組成的吸附分離系統通過程控閥門的開啟和關閉進行循環切換，完成連續制氧。這種氧氣生產過程通常被稱為PSA-O2過程。

2、真空解吸變壓吸附氧氣（VPSA-O2）：

低壓原料空氣（25KPa-39KPa）經鼓風機鼓入，凈化除塵后進入吸附塔，吸附塔為兩塔或三塔系統，吸附塔的產品氣為氧氣?？諝庵械牡獨?、二氧化碳和水蒸汽被吸附到設定的控制值后，由于吸附壓力低，先在常壓下解吸，然后用真空泵抽真空，達到一定的真空度，使吸附塔中的吸附劑雜質被完全解吸再生。由兩個或三個塔組成的吸附分離制氧系統，在PLC或DCS系統的控制下，循環切換程控閥門，完成連續制氧，通常稱為真空解吸變壓吸附制氧工藝（VPSA-O2）。

3、真空解吸制氧（VSA-O2）：

低壓原料空氣（15KPa ~19KPa）經鼓風機鼓入，凈化除塵后進入吸附塔，吸附塔為雙塔或三塔系統，吸附塔的產品氣為氧氣?？諝庵械牡獨?、二氧化碳和水蒸汽被吸附到設定的控制值后，由于吸附壓力低，在常壓下解吸，然后用真空泵抽至一定真空度進行真空解吸，使再生吸附塔中的分子篩雜質完全解吸。由兩個或三個塔組成的吸附分離制氧系統，在PLC或DCS系統的控制下，循環切換程控閥門，完成連續制氧，通常稱為真空解吸制氧工藝（VSA-O2），設備規模較大，經濟性較強。